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59 rmo giugno/luglio 2022 confronto dispositivi analoghi progettati dai maggiori centri di ricerca e sviluppo europei. Ognuno dei partner del progetto - fra cui Philips, Imec, Fraunhofer, Cea Leti, Analog Devices, Sylex - ha realizzato le proprie sonde e sono state fatte delle valutazioni comparative. La Fondazione Bruno Kessler ha partecipato con un sensore messo a punto grazie alle tecnologie per la micro- fabbricazione in sviluppo presso il Centro di ricerca trentino da circa dieci anni e si è piazzata tra i migliori. “Fondazione Bruno Kessler è l’unico centro di ricerca italiano che ha partecipato a questa valutazione di tecnologie, in colla- borazione con l’università di RomaTre - sottolinea il ricercatore FBK, Alvise Bagolini -. Dalle analisi, il dispositivo della Fonda- zione Bruno Kessler figura tra i migliori fabbricati. E questo fra partner che rappresentano il meglio della tecnologia europea in questo ambito”. In particolare, il lavoro è stato svolto presso la MicroNano Facility della FBK, all’interno della ‘Camera Pulita’, un laboratorio con standard di pulizia analoghi a quelli di una sala operatoria. “Il dispositivo da noi realizzato - continua Bago- lini - è una sonda per ecografia in tecnologia micromeccanica, con una matrice di piccole membrane vibranti nella frequenza degli ultrasuoni. Ha dimensioni di pochi millimetri. Ciascuna membrana ha un diametro di circa 30 micron e uno spessore di 2 micron ed è realizzata con nitruro di silicio e alluminio, tipici materiali utilizzati per i chip microelettronici. Il sensore genera un’onda di ultrasuoni e poi riceve l’onda di ritorno che restitui- sce un’immagine dei tessuti attraversati”. “Una buona notizia per la valorizzazione della ricerca in chiave di innovazione, un buon auspicio per diagnosi sempre più pre- cise in ambito ecografico e una dimostrazione della pervasività della microtecnologia del silicio, materiale che si presta a offrire soluzioni rivoluzionarie nei più diversi settori applicativi”, con- clude il responsabile della Micro Nano Facility FBK. Come è costituito il sensore. Il sensore è costituito da una matrice di membrane vibranti nella frequenza degli ultrasuoni. Le membrane sono costituite da una serie di film sottili depo- sitati su un substrato di silicio (wafer) e lavorati in modo da ri- muovere le parti inutili ottenendo il trasferimento di un disegno nello strato stesso. Gli strati di nitruro di silicio, che costituiscono la ‘struttura’ della Alvise Bagolini è ricercatore presso la Fondazione Bruno Kessler, che ha progettato un sensore micromeccanico a ultrasuoni per le ecografie in endoscopia.